图书馆-报告库-中国机械工程学会表面工程分会

口头报告沉积压力对B/WS2复合涂层摩擦磨损性能的影响

编号：110 访问权限：仅限参会人更新：2024-04-07 11:12:50 浏览：146次收藏取消收藏

2024-05-12 16:50

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[D] 论坛3：物理气相沉积和化学气相沉积薄膜技术 [D-2] 论坛3下午

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摘要

研究了沉积压力对不平衡磁控溅射沉积B/WS₂复合涂层微观结构和摩擦学性能的影响。在沉积过程中，分别采用0.6Pa、0.8Pa、1.0Pa、1.2Pa、1.4Pa沉积压力进行溅射镀膜。对B/WS₂复合涂层的微观结构和力学性能进行了表征，并进行B/WS₂复合涂层的摩擦磨损实验。结果表明，B/WS₂复合涂层的显微硬度随着沉积压力的增加而逐渐降低，在沉积压力为0.6Pa时B/WS₂复合涂层硬度最高，达到8.1GPa，这是由于在沉积过程中生成了四钨化硼（WB₄），WB₄高硬度的物理特性提升了B/WS₂复合涂层力学性能；在沉积压力为1.2Pa时，B/WS₂复合涂层磨损寿命最优，达到9.9×10⁴次循环，且摩擦系数最低。选择适当的沉积压力可改善B/WS₂复合涂层的摩擦学性能，掺杂B元素提高了复合涂层的硬度和耐磨性。磨粒磨损和剥落是B/WS₂复合涂层的两种主要磨损形式。